Opsensing与R&D公司共同开发了提供不同行业的R&D-TFM光谱仪及标准软件。可用范围包含了UV可见光及红外线光谱范围(200~2000nm),有多种形态的测试,在此软件下执行包含了: 膜厚测试:以Fourier algorithm 量测 Fitting routines 曲线逼近方式,薄膜量测 颜色分析:可见光光谱仪 峰值寻找 module 多层膜厚FIT测试 可见光平均穿透率检测